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电子级大量气体及其利用

颁布功夫：2021-04-08 | 观光：5822

内容提要：电子级大量气体是指用于造作半导体出产的大量气体，蕴含氮气、氢气、氩气、氦气、氧气和二氧化碳，那么它们在半导体造作中的重要利用都是什么呢？

电子级大量气体是指用于造作半导体出产的大量气体，蕴含氮气、氢气、氩气、氦气、氧气和二氧化碳，那么它们在半导体造作中的重要利用都是什么呢？

气体名称
利用
氩气
Ar用于等离子沉积和蚀刻工艺的工厂中，还可用于深UV光刻激光器中半导体芯片的最幼特点的图案上。液化氩气的液滴还被越来越多的用于洗濯最幼，最脆弱的芯片结构中的碎屑。
二氧化碳

CO2 可用于支持先进的浸没光刻，专用低温洗濯利用以及DI(去离子水)处置。

氦气

He是第二轻的元素和最冷的液体，用于电子造作中的冷却，等离子处置和泄漏检验。

氢气

由于更大的工厂和更高的工艺强度需要，H?的使用量在增长。它用于硅和硅锗的表延沉积和表表处置。随着EUV（极紫表线）的转变，氢气的需要量将持续增长。

氧气

O?用于在蚀刻中产生氧化物层。现场可提供杂质少于10ppb的超纯液态氧（LOX）且无需表部净化器。

氮气

N?是目前半导体造作中使用最多的气体。它用于吹扫真空泵，排放系统，还能够用来做为一种工艺气体。在大型的，先进的工厂，氮气的亏损量可达每幼时5万立方米，这使得工厂必要成本效益好，低能耗的现场氮气产生器。

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